Nous proposons une large gamme de technologies à forte valeur ajoutée pour vous aider à relever vos défis spécifiques en termes de coût et d'environnement.
Production de fluor sur site
Nous avons joué un rôle de pionnier dans l'utilisation de la fluorine moléculaire (F2) en remplacement de gaz présentant un fort potentiel en termes de réchauffement climatique comme le trifluorure d'azote (NF3) et l'hexafluorure de soufre (SF6). Ces gaz sont employés actuellement pour le nettoyage des salles blanches, dans la production d'écrans plats par Dépôt Chimique en phase Vapeur (CVD). Nos générateurs de fluor sur site Generation-F® délivrent le gaz de nettoyage le plus efficace sur le marché, réduisant le temps de nettoyage de plus de 50%, diminuant le temps d'arrêt des outils, et améliorant la cadence de production des lignes d'un taux allant jusqu'à 10%.
Production d'azote
Nos générateurs d'azote SPECTRA-N™ constituent la méthode la plus rentable et la plus fiable pour fournir de l'azote ultra pur dans les quantités considérables nécessitées par les fabricants de TFT-LCD. Offrant des niveaux d'impuretés de gaz inférieurs à 1 ppb, le SPECTRA-N consomme moins d'énergie que les générateurs traditionnels, et qui peut fonctionner à capacité réduite afin de pouvoir répondre aisément aux demandes d'accélération de production de l'usine.
Sur l'ensemble de la gamme
Nous proposons une gamme complète de gaz et de produits chimiques pour accompagner tous les procédés de fabrication d'écrans plats TFT-LCD :
Gaz liquides ultra-purs
Des générateurs sur site
Gaz spéciaux de qualité électronique en bouteilles ou en vrac
Produits chimiques spéciaux et de traitement par voie humide.
Matériaux pour la fabrication de TFT-LCD
Gaz en vrac | Gaz spéciaux de qualité électronique |
Azote | Silane |
Hydrogène | Trifluorure d'azote |
Hélium | Fluor (production sur site) |
Oxygène | Hexafluorure de soufre |
Argon | Ammoniac |
Dioxyde de carbone | |
Mélanges de phosphine |
Les exigences précises varient en fonction du process et du pays de fabrication.
Expertise en systèmes et services
Nous offrons en outre une large gamme de services professionnels, pour vous permettre de vous concentrer sur votre coeur de métier et de poursuivre vos activités. Ces services vont de la conception clé-en-main et l'installation, à la gestion de vos systèmes de gaz de bout en bout, et englobent :
Le stockage de gaz liquide et les systèmes de distribution
Les systèmes de gaz spéciaux liquides (BSGS)
Les boîtiers de gaz et centrales de distribution de gaz
La gestion totale des gaz et des produits chimiques